Refractor Reactor 加熱高感度反射装置

コンパクトで高スループット、取り扱い簡単な高感度反射測定装置

金属板上の薄膜や金属表面での高感度反射(RAS)測定を加熱、加圧、減圧下で行うことが出来ます。
CVD等のin-situ測定をFT-IR試料室内で可能とします。
FT-IRの試料室にセット出来ますので、特別な光学系は不要です。