標準反射板スペクトラロンの取り扱いガイド

スペクトラロンの光学特性および反射特性を維持するため、以下のガイドに従ってお取り扱いください。

基本的な取り扱い方法

スペクトラロンは高い耐久性を有していますが、指紋や皮脂などの付着はランバート反射の乱れや入射光の吸収につながります。一般的な光学面と同様に、スペクトラロンの表面は素手で触らず、必ず清潔な手袋を着用してお取り扱いください。

クリーニング方法

軽度の汚れ
ほこり等の軽い汚れの場合は、乾燥エアーまたは窒素ガスを用いてエアーブローを吹き付けて除去してください。
※フロンガスは使用しないでください。

中程度の汚れ
表面の損傷や軽度の汚れは、平らな面に耐水性の紙ヤスリ(220-240番程度)を敷き、水を流しながら磨くことで元の状態に近づけることができます。
洗浄後は、清潔な環境下で空気または窒素ガスで乾燥、または自然乾燥してください。

DUV領域の耐性が求められる場合

上記の方法でクリーニングをした後、下記のいずれかの処理を行ってください。
1. 18MΩ・cm以上の高純度蒸留脱イオン水で24時間洗浄する。
2. 75℃、真空度1 Torr以下の条件で真空ベーキングを12時間行った後、オーブン内を清潔な空気または窒素ガスでパージしてください。