次世代型の”FT-IR SE50-ECOシリーズ”
Next-generation "FT-IR SE50-ECO series" equipped with Thermo Fisher's FT-IR and JEL's sorter system
・ECOシリーズ対応アプリケーション: ウェーハのエピ膜厚(Si / SiC / SOl)、シリコン中の炭素・酸素濃度、BPSG膜中のリン・ボロン濃度、SiN膜中の水素濃度、シリコン酸化膜中のフッ素濃度測定、非拡散層厚測定
ECO series supported applications: Epi-thickness(Si / SiC / SOl), Carbon / Oxygen concentration in silicon, Phosphorus / Boron concentration in BPSG film, Hydrogen concentration in SiN film, Fluorine concentration in silicon oxide film and Non-Diffusion Layer Thickness of wafers
・OIP対応アプリケーション：インゴット中の酸素濃度
OIP supported application: Oxygen concentration in ingots
SE50A-ECO 200SS
4-8インチウェーハ対応
シングルカセットからの真空吸着ロボット搬送システム
Compatible with 4-8 inches wafers Vacuum suction type robot transfer system from single cassette
SE50A-ECO 200DS
4-8インチウェーハ対応
ダブルカセットからの真空吸着ロボット搬送システム
Compatible with 4-8 inches wafers Vacuum suction type robot transfer system from double cassettes
SE50A-ECO 200SMIF
4-8インチウェーハ対応
シングルSMIFからの真空吸着ロボット搬送システム
Compatible with 4-8 inches wafers Vacuum suction type robot transfer system from single cassette
SE50A-ECO 300SF
8-12インチウェーハ対応
シングルFOUPからの真空吸着ロボット搬送システム
Compatible with 8-12 inches wafers Vacuum suction type robot transfer system from single FOUP
SE50A-ECO 300SFE
12インチウェーハ対応
シングルFOUPからのエッジグリップロボット搬送システム
12 inches wafers
Edge grip type robot transfer system from single FOUP
SE50A-ECO 300SS
8-12インチウェーハ対応
シングルカセットからの真空吸着ロボット搬送システム
Compatible with 8-12 inches wafers
Vacuum suction type robot transfer system from single cassette
SE50S-ECO
2-8インチまたは6-12インチウェーハ対応
ステージタイプの自動搬送システム
Compatible with 2-8 inches or 6-12 inches wafers
Stage type automatic transfer system
SE50A-OIP
202mmまたは302mm径/全長3000mmまでのインゴットの酸素濃度測定システム
Oxygen concentration measurement system for 202 mm or 302 mm diameter and total length up to 3000 mm ingots