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3次元表面形状高精度測定装置(OCT方式)

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メーカー：株式会社システムズエンジニアリング

3次元表面形状高精度測定装置(OCT方式)
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3次元表面形状高精度測定装置(OCT方式)

被検体の表面形状の3D立体画像を10nm以下の深さ感度で測定

OCT計測を基本とした装置で、被検体の表面形状の3D立体画像を10nm以下の高精度な深さ感度で測定します。強い鏡面のような反射体から弱い反射体の測定を可能にするため、測定感度を大きなダイナミックレンジで変更できます。被検体の傾きと、対物レンズ光学系の非平坦性（テレセントリックからのずれ）を、測定後、連続的補正することができます。これにより、深さ方向と横方向の距離が正確に測定できます。表面検出の最適アルゴリズムは、被検体の反射率と形状により調整が必要ですが、被検体の特徴に合わせてカスタマイズ可能です。
測定可能対象物：金属、ガラス、セラミック、樹脂など

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対象分野

  • 自動車、自動車関連部材,照明・ディスプレイ,半導体,高分子・高機能素材,イメージング（可視、近赤外、中赤外）,医薬品,生体試料,食品

特長

  • 被検体の表面形状の3D立体画像を10nm以下の深さ感度で測定
  • 被検体の任意の2点間の深さと横方向の距離を測定
  • 計測可能深さ3.5mm
  • 横方向の測定範囲は4mm～8mmでカスタマイズ可能
  • 測定感度を大きなダイナミックレンジで変更可能
  • 被検体の傾きを、測定後、連続的補正
  • 任意のフィルターにより画像を平滑化

アプリケーション

光学精度のミラーの表面形状測定精密部品の表面形状測定金属板表面のキズの形状測定

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