半導体向けFT-IR
新製品
おすすめ
メーカー：株式会社システムズエンジニアリング
システムズエンジニアリングは、 半導体工場ライン 向け評価用 FT-IR として、 サーモフィッシャー社の FT-IR 測定技術と JEL 社のウェーハ搬送システム を取り入れた次世代型の "FT-IR SE-50 シリーズ " を扱っております。各ウエハサイズ、各アプリケーション（エピ膜厚測定、シリコン中の炭素 ・ 酸素濃度測定、BPSG 中のリン ・ ボロン濃度測定、SiN 膜中の水素濃度測定、シリコン酸化膜中のフッ素濃度測定、GEM/SECS上位通信）に対応したステージシステム、オープンカセット、SMIF、FOUP、エッジグリップの装置を取り揃えております。またアプリケーションのサポート、Nicolet ECOシリーズや、IR-EPOCHシリーズ、蛍光X線よりのスムーズな移行もサポートしております。インゴットの酸素濃度測定や特殊な自動化及び光学アタッチメントの特注もお受けしております。
半導体用FT-IR製品一覧はこちら
対象分野
- 半導体
アプリケーション
ウェーハのエピ膜厚/Epi-thicknessシリコン中の炭素、酸素濃度/carbon / oxygen concentration in siliconBPSG中のリン、ボロン濃度/phosphorus / boron concentration in BPSGSiN膜中の水素濃度/hydrogen concentration in SiN filmシリコン酸化膜中のフッ素濃度測定/Fluorine concentration measurement in silicon oxide film of wafers
カスタムメイドの実績
技術情報
サンプル
LED／O-EL関係測定装置量子効率測定装置EL発光効率測定装置LED配光測定装置(チップ～モジュール)LED光学特性測定装置直流高圧電源ソフトウェア開発液晶・FPDLCD光学特性検査装置フィルム光学特性検査装置バックライト全光束及び光学特性測定装置輝度分布＆色分布測定装置LCD/FPD評価用ステージ自動、手動 XYステージステージ制御用ソフト ランプ・発光体検査全光束測定装置(積分球式、配光測定式)光度測定装置(測光ベンチ式)光度測定装置(コンディションB)ランプ配光測定装置照度センサー(視感度受光器)分光放射計(スペクトロ・ラジオメータ)積分球内面再塗装・各種架台修理標準電球・測定自動化物性測定ラマン分光測定装置LIF微量分析装置蛍光分光測定装置吸収スペクトル測定装置その他光学部品(ホルダー、アダプター等)赤外分光用アクセサリー可視～赤外分光器用アクセサリー赤外光学系及び光源FT-IR外部光学系PMT冷却ハウジング