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メーカー:株式会社システムズエンジニアリング
システムズエンジニアリングは、 半導体工場ライン 向け評価用 FT-IR として、 サーモフィッシャー社の FT-IR 測定技術と JEL 社のウェーハ搬送システム を取り入れた次世代型の "FT-IR SE-50 シリーズ " を扱っております。各ウエハサイズ、各アプリケーション(エピ膜厚測定、シリコン中の炭素 ・ 酸素濃度測定、BPSG 中のリン ・ ボロン濃度測定、SiN 膜中の水素濃度測定、シリコン酸化膜中のフッ素濃度測定、GEM/SECS上位通信)に対応したステージシステム、オープンカセット、SMIF、FOUP、エッジグリップの装置を取り揃えております。またアプリケーションのサポート、Nicolet ECOシリーズや、IR-EPOCHシリーズ、蛍光X線よりのスムーズな移行もサポートしております。インゴットの酸素濃度測定や特殊な自動化及び光学アタッチメントの特注もお受けしております。