半導体向けFT-IR

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メーカー:株式会社システムズエンジニアリング

半導体向けFT-IR
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半導体向けFT-IR

システムズエンジニアリングは、 半導体工場ライン 向け評価用 FT-IR として、 サーモフィッシャー社の FT-IR 測定技術と JEL 社のウェーハ搬送システム を取り入れた次世代型の "FT-IR SE-50 シリーズ " を扱っております。各ウエハサイズ、各アプリケーション(エピ膜厚測定、シリコン中の炭素 ・ 酸素濃度測定、BPSG 中のリン ・ ボロン濃度測定、SiN 膜中の水素濃度測定、シリコン酸化膜中のフッ素濃度測定)に対応した装置を取り揃えております。またアプリケーション及び自動化の特注もお受けいたします。

対象分野

  • 半導体

カスタムメイドの実績

  • LED配光/分光測定装置
  • LCD光学特性測定ステージ
  • 光熱偏光分光測定装置(PDS)
  • 光音響分光測定装置(PAS)
  • 一定光電流分光測定装置(CPM)
  • 定エネルギー分光光源装置
  • 分光放射計(スペクトロ・ラジオメータ)
  • 全光束測定装置(各種ランプ、LED、LCD用バックライト、他)
  • 光度測定装置
  • 配光測定装置(各種発光体、透過/反射フィルム、コーティング材、他)
  • 太陽光スペクトル測定装置
  • HID電球アーク曲がり測定装置
  • 表面プラズモン共鳴測定装置(SPR)
  • 小型ラマン分光測定装置
  • ファイバ-FFP測定装置
  • LIF微量分析装置
  • フェムト秒遅延光学系
  • 制御/計測ソフトウェア開発
  • 制御/信号処理装置
  • 半導体工場向けFT-IR(EPI膜厚、炭素酸素濃度測定、BPSG濃度測定、SiN中の水素濃度、SiF中のフッ素濃度等)
  • 技術情報

    サンプル

    LED/O-EL関係測定装置

    • 量子効率測定装置
    • EL発光効率測定装置
    • LED配光測定装置(チップ~モジュール)
    • LED光学特性測定装置
    • 直流高圧電源
    • ソフトウェア開発

    液晶・FPD

    • LCD光学特性検査装置
    • フィルム光学特性検査装置
    • バックライト全光束及び光学特性測定装置
    • 輝度分布&色分布測定装置
    • LCD/FPD評価用ステージ
    • 自動、手動 XYステージ
    • ステージ制御用ソフト

    ランプ・発光体検査

    • 全光束測定装置(積分球式、配光測定式)
    • 光度測定装置(測光ベンチ式)
    • 光度測定装置(コンディションB)
    • ランプ配光測定装置
    • 照度センサー(視感度受光器)
    • 分光放射計(スペクトロ・ラジオメータ)
    • 積分球内面再塗装・各種架台修理
    • 標準電球・測定自動化

    物性測定

    • ラマン分光測定装置
    • LIF微量分析装置
    • 蛍光分光測定装置
    • 吸収スペクトル測定装置

    その他

    • 光学部品(ホルダー、アダプター等)
    • 赤外分光用アクセサリー
    • 可視~赤外分光器用アクセサリー
    • 赤外光学系及び光源
    • FT-IR外部光学系
    • PMT冷却ハウジング

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