半導体向けFT-IR

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メーカー:株式会社システムズエンジニアリング

半導体向けFT-IR
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半導体向けFT-IR

システムズエンジニアリングは、 半導体工場ライン 向け評価用 FT-IR として、 サーモフィッシャー社の FT-IR 測定技術と JEL 社のウェーハ搬送システム を取り入れた次世代型の "FT-IR SE-50 シリーズ " を扱っております。各ウエハサイズ、各アプリケーション(エピ膜厚測定、シリコン中の炭素 ・ 酸素濃度測定、BPSG 中のリン ・ ボロン濃度測定、SiN 膜中の水素濃度測定、シリコン酸化膜中のフッ素濃度測定、GEM/SECS上位通信)に対応したステージシステム、オープンカセット、SMIF、FOUP、エッジグリップの装置を取り揃えております。またアプリケーションのサポート、Nicolet ECOシリーズや、IR-EPOCHシリーズ、蛍光X線よりのスムーズな移行もサポートしております。インゴットの酸素濃度測定や特殊な自動化及び光学アタッチメントの特注もお受けしております。

対象分野

  • 半導体

カスタムメイドの実績

  • LED配光/分光測定装置
  • LCD光学特性測定ステージ
  • 光熱偏光分光測定装置(PDS)
  • 光音響分光測定装置(PAS)
  • 一定光電流分光測定装置(CPM)
  • 定エネルギー分光光源装置
  • 分光放射計(スペクトロ・ラジオメータ)
  • 全光束測定装置(各種ランプ、LED、LCD用バックライト、他)
  • 光度測定装置
  • 配光測定装置(各種発光体、透過/反射フィルム、コーティング材、他)
  • 太陽光スペクトル測定装置
  • HID電球アーク曲がり測定装置
  • 表面プラズモン共鳴測定装置(SPR)
  • 小型ラマン分光測定装置
  • ファイバ-FFP測定装置
  • LIF微量分析装置
  • フェムト秒遅延光学系
  • 制御/計測ソフトウェア開発
  • 制御/信号処理装置
  • 半導体工場向けFT-IR(EPI膜厚、炭素酸素濃度測定、BPSG濃度測定、SiN中の水素濃度、SiF中のフッ素濃度等)
  • 技術情報

    サンプル

    LED/O-EL関係測定装置

    • 量子効率測定装置
    • EL発光効率測定装置
    • LED配光測定装置(チップ~モジュール)
    • LED光学特性測定装置
    • 直流高圧電源
    • ソフトウェア開発

    液晶・FPD

    • LCD光学特性検査装置
    • フィルム光学特性検査装置
    • バックライト全光束及び光学特性測定装置
    • 輝度分布&色分布測定装置
    • LCD/FPD評価用ステージ
    • 自動、手動 XYステージ
    • ステージ制御用ソフト

    ランプ・発光体検査

    • 全光束測定装置(積分球式、配光測定式)
    • 光度測定装置(測光ベンチ式)
    • 光度測定装置(コンディションB)
    • ランプ配光測定装置
    • 照度センサー(視感度受光器)
    • 分光放射計(スペクトロ・ラジオメータ)
    • 積分球内面再塗装・各種架台修理
    • 標準電球・測定自動化

    物性測定

    • ラマン分光測定装置
    • LIF微量分析装置
    • 蛍光分光測定装置
    • 吸収スペクトル測定装置

    その他

    • 光学部品(ホルダー、アダプター等)
    • 赤外分光用アクセサリー
    • 可視~赤外分光器用アクセサリー
    • 赤外光学系及び光源
    • FT-IR外部光学系
    • PMT冷却ハウジング

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