25回反射 ATR装置

入射角可変 (30-60°) の多重反射垂直型 ATR アクセサリ

高感度ATR測定のための角度可変多重反射ATR装置です。
反射回数が多いこと、また、入射角度可変であることにより、吸収の弱いサンプルの小さな吸収ピークを高感度で測定することが可能です。
サンプルホルダー位置をスライドさせ、入射角を30°から60°まで変えることでATRのもぐり込み深さを変えることができます。
シリコンウエハなど試料自身をATRプリズムに加工し、ウエハ表面の薄膜測定などが可能です。