メーカー:Specac Ltd
入射角可変 (30-60°) の多重反射垂直型 ATR アクセサリ
高感度ATR測定のための角度可変多重反射ATR装置です。
反射回数が多いこと、また、入射角度可変であることにより、吸収の弱いサンプルの小さな吸収ピークを高感度で測定することが可能です。
サンプルホルダー位置をスライドさせ、入射角を30°から60°まで変えることでATRのもぐり込み深さを変えることができます。
シリコンウエハなど試料自身をATRプリズムに加工し、ウエハ表面の薄膜測定などが可能です。
ATR法で吸収が強すぎる場合、もぐり込み深さを浅くするには、より屈折率の高い結晶を使用し、入射角を大きくします。結晶特性表(1.81MB; p. 50)を参照下さい。
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