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Cary 600i用 Vertical R-Theta Stageが完成!

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Cary 600i用 Vertical R-Theta Stageが完成!
Cary 600i用、Vertical R-Theta Stageが完成しました。

200 mm径のウェーハサイズの自動マッピングが可能です。
使用ですが、最大500測定ポイント、測定イチ精度±0.1 mm、お客様が必要な測定ソフトウェアと連動測定可能です。


【ステージ動画】



【ソフトウェア画面】













特殊サンプルステージも作製いたします。
※写真・動画は150 mm角のサンプルステージとなります。

お問合せはこちらから

お問い合わせお待ちしております。
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