半導体向けFT-IR　SE50A-OIPデモ装置の完成！

2020/07/06

LINEで送る
Tweet

シリコンインゴットの酸素濃度測定用のデモ装置『SE50A-OIP(Oi Profiler)』が完成しました。

300mmインゴットで10mmピッチ測定を3日間行いました。
昔使用していた装置よりパージも良く、3日間のループ測定も再現性がSDT≦0.1で十分使用できることが分かりました。
また、検知器の液体窒素保持時間も12時間は使用できるので安心です。

これから実機の作成にかかります。

お問い合わせはこちらから